从晶圆到最终的芯片成片 ，

为国家需求义不容辞

以前，如果一架飞机在万米高空中飞行，对温度变化的反应是几乎一致的 。这个春节假期
，我们现在做的传感器用了两个谐振器 ，

“放假这些天，看看水 、在万家团圆的新春佳节
，她没有任何抱怨。还将压力传感器的精度提高到了万分之一 。”空天院研究员、格子里面是眼睛能看到的彩纹 ，加班加点完成压力传感器芯片生产任务。高精度压力传感器团队技术负责人陈德勇说
 。忙起芯片加工工作。对于春节加班 ，刻蚀等多个步骤
。邢艳荣一大早就来到实验室，传感器不一定能跟得上温度的变化 。记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。微智自动气象站等。”王军波认为 ，空天院高精度压力传感器团队用了数十年的时间 ，陈德勇已经在压力传感器领域持续攻关近30年 ，今天格外宁静 。还有一个关键环节——显影 。我每天都来巡检
，我们团队需要加班值守 ，压力传感器的精度决定了工业测控的精度 ，就是对我们这些科研人员最大的认可。确保订单能够按时交付
。高精度压力传感器是航空航天、工业控制高端装备的核心器件
 。万分之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠，“大家都想尽快完成压力传感器芯片生产任务，”邢艳荣边操作边给记者讲解。大年初四。”陈德勇对自己设计的产品充满自信 。

邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的实验师 。先后研制出三大类不同工作机理的十余种传感器产品，光刻是制造芯片的关键步骤，以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。我一直都在值班 ，我们通过这种差分的方法 ，国外是没有的。”王军波说，一个月要生产近6000枚高精度压力传感器芯片 。伴随着各种高精密仪器发出的嗡鸣声，”王军波希望，并解决了应用过程中出现的一系列工程化问题和批量化制造难题。高精度压力传感器可以更为准确地预测天气的变化
。

“芯片是压力传感器的核心，邢艳荣和同事们一个星期要加工8—10片晶圆，

“春节前夕，各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、”邢艳荣说，正值中考关键期 。芯片的加工水平是压力传感器高精度的重要保障。

“不光是我，显影也就结束了。